Park NX15原子力顯微鏡不僅非常適合共享實(shí)驗(yàn)室里的研究人員處理各種樣品、進(jìn)行多變量實(shí)驗(yàn)，也同樣適合故障分析工程師處理晶圓的系統(tǒng)性工作。

便捷的樣品測(cè)量（包含多樣品掃描）

一次可對(duì)多個(gè)樣品自動(dòng)成像

設(shè)計(jì)的多樣本卡盤，一次至多可裝載9個(gè)單獨(dú)樣品（可選）

全電動(dòng)XY樣品臺(tái)行程可達(dá) 150 mm x 150 mm

通過(guò)消除掃描器串?dāng)_進(jìn)行精準(zhǔn)的XY掃描

獨(dú)立閉環(huán)XY和Z柔性掃描器

正交XY掃描

無(wú)需軟件處理即可保留真實(shí)可信的樣品表面形貌信息

真正非接觸模式實(shí)現(xiàn)探針使用壽命、成像分辨率和樣品的有效保護(hù)

快速的Z伺服速度，實(shí)現(xiàn)真正的非接觸模式

針尖磨損微小化，可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間的高質(zhì)量和高分辨率成像

多種模式和選項(xiàng)

全面性的測(cè)量模式和表征方法

可實(shí)現(xiàn)可選配件和升級(jí)擴(kuò)展功能

用于故障分析(FA)的精密電學(xué)測(cè)量

Park NX15原子力顯微鏡 參數(shù)

掃描器

Z掃描器

柔性引導(dǎo)高推動(dòng)力掃描器

Z掃描范圍：15μm(30 μm可選)

XY掃描器

閉環(huán)控制式單模塊柔性XY掃描器

掃描范圍：100μmx 100μm

光學(xué)

帶視覺(jué)相機(jī)的同軸光學(xué)系統(tǒng)

物鏡：10x放大

視場(chǎng)：

480 μm X 360 μm(默認(rèn) 120 萬(wàn)像素視覺(jué)相機(jī))

840 μm X 630 μm( 默認(rèn) 500 萬(wàn)像素視覺(jué)相機(jī))

電路系統(tǒng)

信號(hào)處理

ADC: 用于 X,Y和Z 掃描器位置傳感器的 24 位 ADC

DAC: 用于 X,Y和Z 掃描器定位的 20 位 DAC

樣品臺(tái)

Z位移臺(tái)行程范圍：25.5 mm

XY位移臺(tái)行程范圍：150 mm X 150mm

樣品大小：可滿足150 mm wafer 樣品